ציוד ליבה של קו ייצור אוטומטי לניקוי יחסי ציבור ליצרני תצוגות LCD
קו הייצור האוטומטי לניקוי PR (פוטו-רזיסט) הוא ציוד ליבה של תהליך רטוב בייצור תצוגות LCD. הוא משמש בעיקר לאחר תהליך הפוטוליתוגרפיה על מצע המערך כדי להסיר ביסודיות שאריות פוטו-רזיסט, שאריות תחריט ומיקרו-מזהמים פני השטח. זהו ציוד חיוני להבטחת דיוק מעגל הלוח ושיפור תפוקת המוצר. מתאים באופן מושלם לסביבת הייצור המחמירה של חדר נקי Class 100, הוא משיג פעולות ניקוי בלולאה סגורה-ברמת דיוק גבוהה, אוטומטית וללא זיהום-.
מכוון לשאריות הפוטו-רזיסט החיוביות והשליליות לאחר תהליך הפוטוליתוגרפיה, היא משתמשת בתהליך ניקוי אולטראסוני רב-שלבי + שטיפת מים טהורים להסרה עמוקה של פסולת, מזהמים אורגניים, חלקיקי אבק וזיהומים אחרים שנותרו לאחר תחריט הפוטוליתוגרפיה. זה יכול להסיר ביסודיות שאריות מיקרוסקופיות מתחת ל-0.5 מיקרומטר, ולמנוע פגמים כגון מעגלים פתוחים בלוח, נקודות בהירות וכתמי Mura הנגרמים על ידי זיהומים. בשילוב עם מערכת סינון דיוק בגובה 0.1 מיקרומטר-, היא מונעת זיהום משני. הוא משיג הסרה יסודית וללא נזקים-, תוך הימנעות מהשפעתן של שכבות דבק שיוריות על תהליכי תחריט וציפוי הבאים, עם שיעור כיסוי הסרה של 100%.
מודול הבקרה האלקטרוסטטי המובנה-ב-ESD שולט בקפדנות על הערך האלקטרוסטטי בטווח של פחות או שווה ל-±100V. בשילוב עם החומר האנטי-סטטי לחלל וטכנולוגיית אספקת גלגלים מגנטיים ללא-מגע, הוא מונע מפריקה אלקטרוסטטית מפגיעה במעגלים המדויקים של הפאנל, תוך מניעת שריטות, שבבים ויצירת אבק מחיכוך על מצע הזכוכית, ובכך ממקסם את ההגנה על שלמות המצע.
תא בדיקה בטמפרטורה קבועה בטמפרטורה גבוהה ונמוכה
הליבה של ציוד קו הייצור האוטומטי לניקוי וייבוש עבור יצרני מסכי LCD משלבת מצב ייבוש כפול: חיתוך סכין אוויר וייבוש אוויר חם בטמפרטורה- קבועה. זה מסיר במהירות כתמי מים ממשטח המצע, ומשיג ייבוש ללא סימן מים-ללא עקבות-. לאחר הייבוש, תכולת הלחות של פני המצע מתקרבת לאפס, מה שמאפשר העברה ישירה לתהליך הבא ללא עיבוד משני, מה שמבטיח רציפות התהליך. מערכת בקרת PLC מאפשרת פעולת-לולאה סגורה אוטומטית לחלוטין של טעינה, מיקום, ניקוי ופריקה. הוא תומך בפונקציות-ניטור ואזעקה בזמן אמת להתאמת ריכוז התמיסה, טמפרטורה, לחות וניקיון. החדר האטום ועיצוב הלחץ השלילי שיפוע מונעים דליפת גז כימי. בשילוב עם סביבת הלחץ החיובי של חדר נקי מסוג Class 100, הוא גם מאפשר מיחזור מים טהורים וסיווג ושחזור של נוזלי פסולת, תוך עמידה בדרישות -חיסכון באנרגיה וגם בדרישות הגנת הסביבה.
בהשוואה לניקוי ידני מסורתי, לקווי ייצור לניקוי יחסי ציבור אוטומטיים יש יתרונות שאין להם תחליף: יעילות הניקוי מוגברת ביותר מפי 3, וניתן לעבד כמעט 10,000 מצעי זכוכית בכל משמרת, מה שמקצר משמעותית את מחזור התהליך; עקביות הניקוי מצוינת, הסרה יסודית של שאריות מיקרו- הקטנות מ-0.5 מיקרומטר, שולטת בשיעור הפגמים בפאנל עד ל-0.5PPM, ולמעשה נמנעת פגמים כגון נקודות בהירות, כתמים כהים והפסקות מעגלים על המסך; הציוד מאמץ תכנון-חיסכון במים וחיסכון-באנרגיה, עם שיעור שחזור מים טהור גבוה ואיסוף וטיפול בשפכים מסווגים בשפכים, העומד בדרישות הייצור להגנת הסביבה; כל המכונה עשויה מ-PVC עמיד בפני קורוזיה- ופלדת אל-חלד SUS304, עם אטימה חזקה, ניקוי ותחזוקה קלים, ומתאימה לפעולה רציפה של 24- שעות בחדרים נקיים, והפכה לציוד סטנדרטי עבור יצרני מסכי LCD לבניית קווי מוצרים מתקדמים ולשיפור התחרותיות הליבה.
ציוד ליבה בסדנת הפוטוליתוגרפיה של יצרני תצוגות LCD
ציוד החשיפה הוא ציוד הליבה בסדנת הפוטוליתוגרפיה ותחום תהליך מרכזי בתהליך ייצור מערך ה-LCD. המכונה גם מכונת ליטוגרפיה של פאנלים, היא מכשיר לתהליך רטוב אופטי-בדיוק גבוה. תפקידו העיקרי הוא להעביר את תבנית עיצוב מעגל המצע על גבי מצע זכוכית מצופה פוטו-רזיסט באמצעות חשיפה אופטית, שהיא חיונית ליצירת מעגלים מיקרו- בפאנל. ההעברה המדויקת של תבנית המעגל מהפוטומסק למצע הזכוכית היא התנאי המקדים לתהליכי תחריט, ציפוי וניקוי יחסי ציבור הבאים, הקובעים ישירות את איכות מסך התצוגה. הציוד משתמש בתהליך חשיפה ללא-מגע, מתאים למצעי זכוכית LCD דקים בגודל-גדול, תוך הימנעות משריטות, נזק וזיהום של המצע.
The core technological highlights include a high-precision alignment system with micron-level or even sub-micron-level overlay accuracy, ensuring zero misalignment in multi-layer circuit stacking with errors controlled to within a few thousandths of a hair's diameter; the use of a uniform exposure light source and dynamic focusing technology to achieve exposure energy fluctuations of <±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
הסדנה כולה משתמשת במקור אור צהוב מונוכרומטי של 589 ננומטר, המסנן לחלוטין אור באורך גל קצר, כגון אור אולטרה סגול, כחול ולבן, ומונע מקרניים אלו להפעיל תגובות פוטוכימיות בטרם עת ב-photoresist, ולגרום לפגמים קטלניים כגון אי יישור דפוס, קווים לא שלמים וקווים פתוחים, קצרים חשמליים. מערכת התאורה משתמשת בשילוב של נורות לד צהובות ייעודיות ומסננים כפולים-שכבתיים כדי למנוע דליפת אור תועה; דלתות, חלונות וחלונות תצפית מצוידים בחומרי סינון נגד-אולטרה סגול; טלפונים ניידים, מצלמות, פנסים-בעלי עוצמה גבוהה ומקורות אור חיצוניים אחרים אסורים בהחלט בתוך הסדנה, ובקרת משמעת אור מלאה-בשטח מיושמת כדי למנוע את הסיכון של חשיפה מוקדמת של photoresist מהמקור.
מבוא לחדרים נקיים Class 100 ליצרני תצוגות LCD
בתחום של ייצור LCD ברמת דיוק גבוהה-, חדרי נקיים Class 100 (חדרים נקיים מסוג ISO Class 5) הם מתקן הייצור המרכזי ואינדיקטור מרכזי לחוזק הטכני ולתפוקת המוצר של היצרן. הם נמצאים בשימוש נרחב בשלבי תהליכי ליבה כגון מערך, הרכבת תאים ואריזת מודולים על ידי חברות תצוגה מובילות כמו BOE, TCL CSOT, HKC ו-Tianma. לחדרים נקיים אלה יש תקני ניקיון מחמירים, עם לא יותר מ-100 חלקיקי אבק תלויים בקוטר גדול או שווה ל-0.5 מיקרומטר לכל רגל מעוקב של אוויר (פחות או שווה ל-3520 למטר מעוקב). רמת הניקיון הזו עולה בהרבה על זו של חדרי ניתוח רפואיים, ומשמשת כ"מחסום הארדקור" למניעת אבק, חשמל סטטי ומזהמים כימיים מלהפריע לתהליכים מדויקים. זהו רכיב חומרה ליבה הקובע ישירות את איכות התמונה, תוחלת החיים וקצב התפוקה של המסך.
הסדנה מתוכננת ונבנית אך ורק בהתאם לתקנים הבינלאומיים והמקומיים של ISO. הוא מאמץ מצב זרימת אוויר חד-כיוונית אנכית, יחד עם מערכת סינון ULPA בארבעה-שלבים (מסנן קדם-, מסנן-בינוני, מסנן יעיל-ועל -גבוה-מסנן, משיג יעילות סינון עד 99% עד 99. הסרת אבק וביטול אזורים מתים של זרימת אוויר. במקביל, מושגת בקרה סביבתית מדויקת בכל הממדים: טמפרטורה קבועה של 23±1 מעלות, לחות יחסית נשלטת ב-45%-55%, מצב לחץ חיובי שנשמר באזור הנקי, והפרש לחצים גדול או שווה ל-10Pa בין אזורים סמוכים, מונע לחלוטין חדירת אבק חיצוני; בהתחשב ברגישותם של לוחות תצוגה לנזק אלקטרוסטטי, נעשה שימוש בריצוף -אפוקסי אנטי סטטי-מישור עצמי, ו-304 פלדת אל חלד ולוחות פלדה בצבע חדר נקי משמשים לקירות ותקרות, עם שליטה קפדנית על ערכי חשמל סטטי לאורך כל התהליך; בקרה נוספת מסופקת למזהמים כימיים VOC ברמה-מולקולרית והפרעות סמויות כגון מיקרו-וויברציות, העומדות בדרישות של תהליכים ננומטריים כגון פוטוליתוגרפיה, שקיעת סרט דק והזרקת גבישים נוזליים.
הסדנה מאמצת תכנון שכבות של אזורי חדרים נקיים, המחולק לאזור ליבה Class 100, אזור חיץ Class 1000 ואזור עזר Class 10,000, עם שכבות המונעות זיהום צולב-, וקווי מסיעי כוח אדם וחומר אוטומטי מופרדים לחלוטין. הצוות חייב לעבור תהליך משולש של החלפת בגדים, מקלחת אוויר וזיהוי אלקטרוסטטי, והוא יכול להיכנס רק לאחר לבישת חליפת חדר נקי- מלאה, כפפות ללא אבק- ומשקפי מגן; חומרים מועברים דרך חלונות העברה שלובים ועוברים טיפול הסרת אבק וחשמל סטטי; החלק הפנימי מצויד במנדפים של זרימה למינרית FFU, מוני חלקיקים מקוונים, חיישני טמפרטורה ולחות, מדי לחץ דיפרנציאלי וציוד אחר כדי להשיג ניטור בזמן אמת של 24-שעות ועקיבות נתונים, ומיד יוציא אזהרות ויבצע התאמות במקרה של אינדיקטורים חריגים כדי להבטיח יציבות סביבתית מתמשכת.
